據(jù)南方財(cái)富網(wǎng)概念庫(kù)數(shù)據(jù)顯示，相關(guān)極紫外光刻題材的上市企業(yè)有：
從近三年凈利潤(rùn)復(fù)合增長(zhǎng)來(lái)看，最高為2022年的6953.87萬(wàn)元。
2012年12月，由北京市科技委組織、并由公司牽頭的太赫茲光譜儀項(xiàng)目經(jīng)科技部審核獲國(guó)家重大開發(fā)專項(xiàng)立項(xiàng)。項(xiàng)目自2012年10月起至2017年9月，主要目標(biāo)是研發(fā)出性能穩(wěn)定、質(zhì)量可靠的基于飛秒激光的太赫茲時(shí)域光譜儀，并應(yīng)用于食品安全檢測(cè)、藥品分析、臨床檢測(cè)、油氣分析等領(lǐng)域。國(guó)家給予該項(xiàng)目的研發(fā)資金為6780萬(wàn)元，分階段撥付，由公司及各合作單位共同使用。2013年年報(bào)披露，國(guó)家科委立項(xiàng)的"基于飛秒激光的太赫茲光譜儀"和"軟X射線/極紫外無(wú)諧波光柵單色儀"2014年均已進(jìn)入了產(chǎn)品的研發(fā)階段，進(jìn)度符合計(jì)劃。
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