據(jù)南方財富網(wǎng)概念庫數(shù)據(jù)顯示，集成電路裝備上市公司有：
盛美上海（688082）：
從盛美上海近五年扣非凈利潤復合增長來看，近五年扣非凈利潤復合增長為86.1%，過去五年扣非凈利潤最低為2020年的9243.78萬元，最高為2024年的11.09億元。
炬光科技（688167）：
炬光科技從近五年扣非凈利潤復合增長來看，過去五年扣非凈利潤最低為2024年的-1.82億元，最高為2022年的8365.78萬元。
中微公司（688012）：
從中微公司近五年營收復合增長來看，近五年營收復合增長為41.31%，過去五年營收最低為2020年的22.73億元，最高為2024年的90.65億元。
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